진공 과학 기술 저널
Journal of Vacuum Science and Technology| 규율 | 물리 |
|---|---|
| 언어 | 영어 |
| 편집자 | 에레이 아이딜 |
| 발행 상세 | |
| 역사 | 1964년 ~ 현재 |
| 출판인 | 미국진공학회(미국)를 대표하여 미국물리학회 |
| 빈도수. | 격월 |
| 2.427 (A부) 1.416 (B부) (2020) | |
| 표준 약어 | |
| ISO 4 | J. Vac. Sci.테크놀 |
| 색인화 | |
진공 과학 기술 저널 | |
| ISSN | 0022-5355 |
진공과학기술 저널 A | |
| 코드 | JVTAD6 |
| ISSN | 0734-2101 (프린트) 1520-8559(Web) |
| LCCN | 83643441 |
| OCLC 번호 | 08697396 |
진공과학기술 B 저널 | |
| 코드 | JVTBD9 |
| ISSN | 0734-211X |
| LCCN | 83642371 |
| OCLC 번호 | 08697479 |
| 링크 | |
)진공 과학 기술 저널은 미국 진공 학회를 대표하여 미국 물리학 연구소가 A와 B의 두 부분으로 나누어 발행하는 동료 검토 과학 저널이다.1964년에 설립되었으며 편집장은 에레이 아이딜(미네소타 대학)입니다.
역사
- 1964-1982년 진공 과학 기술 저널
- 1983 - 현재 진공과학기술 저널 A: 진공, 표면 및 필름
- 1983~1990년 진공과학기술 저널 B: 마이크로일렉트로닉스 처리 및 현상
- 1991~현재 진공과학기술 B: 마이크로일렉트로닉스와 나노미터 구조
파트 A
파트 A에서는 응용 표면 과학, 전자 재료 및 가공, 융합 기술, 플라즈마 기술, 표면 과학, 박막, 진공 야금 및 진공 기술에 대해 다룹니다.저널 인용 리포트에 따르면, 저널은 2015년 1.[1]724의 영향 계수를 가지고 있다.
파트 B
파트 B는 다양한 물질의 진공 및 플라즈마 처리, 구조 특성, 마이크로 리소그래피, 서브 마이크로미터 및 나노미터 구조와 소자의 물리 및 화학에 대해 다룹니다.저널 인용 보고서에 따르면, 저널의 2014년 영향 계수는 [2]1.398이다.
레퍼런스
- ^ "Journal of Vacuum Science and Technology, Part A". 2015 Journal Citation Reports. Web of Science (Science ed.). Thomson Reuters. 2016.
- ^ "Journal of Vacuum Science and Technology, Part B". 2015 Journal Citation Reports. Web of Science (Science ed.). Thomson Reuters. 2016.
