포커스 변동

Focus variation

포커스 변동은 시야 [1]깊이가 제한된 광학으로 이미지를 선명하게 하고 표면의 불규칙성을 측정하는 데 사용되는 방법입니다.

알고리즘.

알고리즘은 다음과 같이 동작합니다.

  1. 처음에 초점이 다른 이미지가 캡처됩니다.이것은 샘플 또는 광섬유를 서로 상대적으로 이동시킴으로써 이루어집니다.
  2. 그런 다음 각 위치에 대해 각 평면의 포커스가 계산됩니다.
  3. 초점이 가장 잘 맞는 평면을 사용하여 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.해당 깊이는 이 위치의 깊이를 제공한다.

광학

초점 변화에는 시야 깊이가 매우 작은 광학 장치가 필요합니다.이것은 광학이나 현미경 목적과 같은 현미경을 사용한다면 실현될 수 있다.이 목표들은 작은 자계 깊이를 주는 높은 수치적 조리개를 가지고 있다.

사용.

이 방법은 광학 표면 도량형 및 좌표 측정 기계에 사용됩니다.이는 [2]샘플의 형태, 물결, 거칠기를 측정하는 것을 의미합니다.최적화된 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소를 사용하여 가로 해상도 500nm(빛 파장의 한계) 및 세로 해상도 수 nm에 도달할 수 있습니다.

장점과 단점

장점:

  • 측면 경사가 가파른 샘플에 사용할 수 있습니다.이는 링 조명을 사용하여 조명 조리개를 확장할 수 있기 때문입니다.
  • 색상 정보를 전달할 수 있습니다.
  • 거친 표면에서 측정할 수 있다

단점:

  • 샘플의 표면이 영상의 구조를 제공하지 않으면 사용할 수 없습니다.즉, 웨이퍼와 유리에 사용할 수 없습니다.

표준화

ISO 위원회는 ISO 25178 시리즈라고 불리는 새로운 ISO 표준 시리즈를 개발하고 있습니다.파트 6 문서에서는 거칠기 측정에 사용 가능한 방법을 설명합니다.포커스 변동은 설명한 방법 중 하나입니다.

「 」를 참조해 주세요.

레퍼런스

  1. ^ Alicona. "Focus Variation – a Robust Technology for High Resolution Optical 3D Surface Metrology" (PDF). Retrieved 28 September 2017.
  2. ^ Burmudez, Carlos. "Active illumination focus variation". Retrieved 22 October 2020.