미소열 분석
Microthermal analysis |
마이크로 서멀 분석은 차동 주사 열량 측정(DSC)의 열분석 원리와 주사 프로브 현미경의 높은 공간 분해능을 결합한 재료 특성화 기법이다.계측기는 기본적으로 은 피복(Wollaston 와이어)으로 코팅된 미세한 백금/로듐 합금 와이어(직경 5마이크로미터)인 열 프로브로 구성됩니다.와이어를 V자 모양으로 구부리고 은색 칼집을 에칭하여 뾰족한 끝을 형성합니다.프로브는 히터와 온도 센서 역할을 모두 수행합니다.프로브는 기존의 스캔 프로브 현미경에 부착되어 있으며 샘플 표면을 스캔하여 샘플의 열 거동을 공간적으로 해결할 수 있습니다.
이 기술은 탐촉자를 빠르게 가열하여 시료를 통한 열 확산을 방지하고 팁에 근접한 물질의 반응을 [1]온도의 함수로 측정하는 국소 열 분석에 널리 사용되어 왔다.마이크로 열 분석은 1998년 3월에 상업적으로 시작되었다.[2]
마이크로 서멀 분석은 100nm 미만의 공간 [3]분해능을 가진 재료의 열역학적 특성을 탐색하기 위해 미세 가공된 자기 가열 실리콘 캔틸레버를 사용하는 나노 서멀 분석까지 확장되었습니다.
