나노기측량법

나노기상계(Nanothermetry)는 나노스케일(nanoscale)에서 작동하는 비침습 정밀 온도계의 사용을 탐구하는 물리학 및 공학 분야의 한 분야다. 이러한 기기는 공간 분해능(1마이크로미터 이하)이 높으며, 이 경우 기존 방법은 효과적이지 않다.

나노미터의 감도

감도는 온도계 출력에 대한 상대적 변화 정보를 제공하는 온도계의 특성을 나타내는 매개변수다. 수치상으로는 검정곡선을 이용하여 계산할 수 있다(열량 파라미터의 온도 의존성, Q)

${\displaystyle S_{r}={\frac {dQ/dT}{Q}}}.}$

S는_r 값이 작기 때문에 대개 1.0%, K와⁻¹ 같이 백분율로 표현되는데, 이는 온도 변화가 1.0%의 변화로 열변수에서 측정된다는 것을 의미한다. 이 양은 열량 파라미터 변화로 인한 온도를 측정하기 위해 사용할 적절한 검출기를 결정하라는 것이다.^[1]

발광 나노기계

서브마이크론 스케일에서 작동하기 위한 접촉 온도계의 잘 알려진 제한은 IR 열학, 온도계, 광학 간섭계, 라만 분광법 및 발광과 같은 비접촉 열측정 기법의 개발로 이어졌다. 발광 나노기계측법은 온도와 발광 특성 사이의 관계를 이용하여 열 이미징할 물체에서 발생하는 빛의 공간 및 스펙트럼 분석으로부터 열감지를 얻는다.^[2]

참조