집적회로의 적용에 있어서, 프로세스 제어 모니터링(PCM)은 사용되는 프로세스에 대한 상세한 정보를 얻기 위해 따르는 절차다.
PCM은 CMOS에서는 Vth, 바이폴라에서는 V와be 같은 기술별 파라미터를 감시할 수 있는 특수 구조물을 설계하고 제작하는 것과 관련이 있다.이러한 구조는 공정 변동을 자세히 살펴볼 수 있도록 생산되는 칩과 함께 특정 위치에 웨이퍼에 걸쳐 배치된다.
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