로터리압축펌프
Rotary compression pump |
로터리 압축 펌프는 사이클로 작동한다. 각 사이클마다 압력이 낮아질 챔버와 접촉하여 볼륨이 생성된다. 임의동작에 의해 진공실의 분자는 펌프에 의해 생성된 부피로 전달된다. 그런 다음 이 체적은 챔버에서 차단되고 단방향 밸브와 접촉하여 압축된다. 부피가 충분히 압축되면 일부 분자가 밸브를 통과할 것이다.
퍼포먼스
로터리 압축 펌프의 최대 효율은 진공에 접촉하는 부피와 밸브에 접촉하는 최소 수축 부피 사이의 비율이다. 비율이 1:1000이고 펌프가 대기압으로 소진되는 경우, 달성 가능한 최고 진공상태는 대기압의 1/1000이다. 이는 0.76 Torr 또는 101.3 Pa에 해당한다. 이러한 제한으로 인해 약 1 Torr 미만의 압력을 달성하려면 회전식 압축 펌프를 구성하기가 매우 어렵다. 공정이 단순해 회전압축펌프가 저렴해 저진공펌프나 확산펌프나 터보분자펌프로의 배접펌프로 널리 사용된다.
